(一)、超純水設(shè)備-半導(dǎo)體晶片切割制造專用設(shè)備特點

　　1、整體化程度高，易于擴展，增加膜數(shù)量即可增加處理量。

　　2、自動化程度高，遇故障立即自停，具有自動保護功能。

　　3、膜組件為復(fù)合膜卷制而成，表現(xiàn)出更高的溶質(zhì)分離率和透過速率。

　　4、能耗低，水利用率高，運行成本低。

　　5、結(jié)構(gòu)合理，占地面積少。

　　6、先進的膜保護系統(tǒng)，在設(shè)備關(guān)機，淡化水可自動將膜面污染物沖洗干凈，延長膜壽命。

　　7、系統(tǒng)無易損部件，無須大量維修，運行長期有效。

　　8、設(shè)備設(shè)計有膜清洗系統(tǒng)用阻垢系統(tǒng)。
 

超純水設(shè)備
 

　　(二)、超純水設(shè)備-半導(dǎo)體晶片切割制造專用工藝流程

　　1、預(yù)處理系統(tǒng)→反滲透系統(tǒng)→中間水箱→粗混合床→精混合床→純水箱→純水泵→紫外線殺菌器→拋光混床→精密過濾器→用水對象(≥18MΩ.CM)(傳統(tǒng)工藝)

　　2、預(yù)處理→反滲透→中間水箱→水泵→EDI裝置→純化水箱→純水泵→紫外線殺菌器→拋光混床→0.2或0.5μm精密過濾器→用水對象(≥18MΩ.CM)

　　3、預(yù)處理→一級反滲透→加藥機(PH調(diào)節(jié))→中間水箱→第二級反滲透(正電荷反滲膜)→純水箱→純水泵→EDI裝置→紫外線殺菌器→0.2或0.5μm精密過濾器→用水對象(≥17MΩ.CM)

　　4、預(yù)處理→反滲透→中間水箱→水泵→EDI裝置→純水箱→純水泵→紫外線殺菌器→0.2或0.5μm精密過濾器→用水對象(≥15MΩ.CM)

　　5、預(yù)處理系統(tǒng)→反滲透系統(tǒng)→中間水箱→純水泵→粗混合床→精混合床→紫外線殺菌器→精密過濾器→用水對象(≥15MΩ.CM)(傳統(tǒng)工藝)
 

超純水設(shè)備
 

　　(三)、超純水設(shè)備-半導(dǎo)體晶片切割制造專用安裝流程

　　1、在選定的位置打孔或固定超純水設(shè)備?？滓獔A滑，深度、孔距要準確，孔圍不能有裂痕或缺口、毛邊。

　　2、與自來水管連接。先關(guān)閉自來水總閥，連接超純水設(shè)備，接口要纏生膠帶，不能漏水。

　　3、連接濃水排放口。純水機可將排污管直接放入排污管道，端口要留一定空間，以避免污水倒流入直飲水設(shè)備，防止排污口“虹吸”現(xiàn)象產(chǎn)生。如將直飲水設(shè)備排污管直接放入排污管道，應(yīng)在排污管端裝一球閥，不定時打開可起到排污作用。也可將排污管直接與原先自來水龍頭相連。排污管與直飲水設(shè)備排污口一定要接好，不能漏水。

　　4、連接凈化水出口與凈化水龍頭。如流量大于500升，可直接用4分管與通用龍頭。如流量小于500升，可選擇用4變2接頭與凈化水出口連接，通過2分白色PE管與2分水龍頭連接。連接2分管時，先將管端口切平，再套上螺帽，然后把管塞插入PE管，插緊，將PE管超出螺帽1CM左右插入接頭擰緊即可。

　　5、安裝水龍頭：如果要將水龍頭裝在水槽上，不銹鋼水槽可用開孔器開孔，如果要將水龍頭固定在墻面，可用直角龍頭掛片將水龍頭固定在墻面。

　　6、打開總進水球閥，對凈水機進行調(diào)試，觀察接頭是否漏水，觀察期最少2個小時，可在凈水機下放一塊干凈的干毛巾，檢查是否有滲水現(xiàn)象。

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