(一)、電子半導(dǎo)體行業(yè)用超純水設(shè)備對(duì)水質(zhì)的要求

　　微電子工業(yè)、大規(guī)模、超大規(guī)模集成電路需用大量的高純水、超純水清洗半成品、成品。集成電路的集成度越高，對(duì)水質(zhì)的要求也越高，這也對(duì)超純水處理工藝及產(chǎn)品的簡(jiǎn)易性、自動(dòng)化程度、生產(chǎn)的連續(xù)性、可持續(xù)性等提出了更加嚴(yán)格的要求。

超純水設(shè)備
 

　　(二)、電子半導(dǎo)體行業(yè)用超純水設(shè)備適用場(chǎng)合

　　1、半導(dǎo)體材料、器件、印刷電路板和集成電路。

　　2、LCD液晶顯示屏、PDP等離子顯示屏。

　　3、高品質(zhì)顯像管、螢光粉生產(chǎn)。

　　4、半導(dǎo)體材料、晶元材料生產(chǎn)、加工、清洗。

　　5、超純材料和超純化學(xué)試劑、超純化工材料。

　　6、實(shí)驗(yàn)室和中試車(chē)間。

　　7、汽車(chē)、家電表面拋光處理。

　　8、光電產(chǎn)品。

　　9、其他高科技精微產(chǎn)品。
 

超純水設(shè)備
 

　　(三)、電子半導(dǎo)體行業(yè)用超純水設(shè)備制備工藝

　　1、預(yù)處理-反滲透-水箱-陽(yáng)床-陰床-混合床-純化水箱-純水泵-紫外線(xiàn)殺菌器-精制混床-精密過(guò)濾器-用水對(duì)象

　　2、預(yù)處理-一級(jí)反滲透-加藥機(jī)(PH調(diào)節(jié))-中間水箱-第二級(jí)反滲透-純化水箱-純水泵-紫外線(xiàn)殺菌器-0.2或0.5μm精密過(guò)濾器-用水對(duì)象

　　3、預(yù)處理-反滲透-中間水箱-水泵-EDI裝置-純化水箱-純水泵-紫外線(xiàn)殺菌器-0.2或0.5μm精密過(guò)濾器-用水對(duì)象

　　4、預(yù)處理-反滲透-中間水箱-水泵-EDI裝置-純化水箱-純水泵-紫外線(xiàn)殺菌器-精制拋光混床-TOC分解器-0.2或0.5μm精密過(guò)濾器-用水對(duì)象

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